Een Reticle Stage is een bewegend platform voor een reticle zoals gebruikt in de lithografie industrie. Voor het PAS5500-team van ASML (2004) was ik architect van de snellere reticle stage (HS-RS; High Speed Reticle Stage). Deze is generiek ingevoerd en vervangt hierbij de oude RS. Voor de RS is de scansnelheid verhoogd van 1,0 m/s…
Read more
Bouwen snelle aandrijving van een Reticle Stage
