Een pellicle is een frame van zo’n 110x140 mm voorzien van een dun vliesje dat een reticle moet afschermen van stofdeeltjes. Dit pellicle moet nauwkeurig kunnen worden bevestigd op een reticle, en na gebruik ook weer kunnen worden verwijderd. Hiertoe is een X-Y-Rz-stage beschikbaar die het pellicle kan manoeuvreren onder een reticle. Met camera’s in…
Read more
Positiebepaling pellicle uit camera-beelden, en machine learning voor een Pellicle plaatsings-machine
